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      MDX 系列
      
        
      等離子發生器直流電源系統
      
          
      產品特點
      低儲能輸出，滅弧時間可調
      
低紋波
      
緊湊型設計
      
電壓、電流和功率調節模式
      
前面板和模擬接口控制
      
 
      
     
    
      
    
      

      

      


      

      
    
      
        
        
      產品描述
      
        
      作為一款重載工業設備，MDX 系列主要用于需要實現可靠、精密電源輸出的低功率應用。
      
精密的調節、卓越的滅弧性能和低儲能輸出，使 MDX 系列直流電源成為行業領先者。這些可靠耐用的電源適用于在真空環境中持續高強度的，普遍用作直流磁控濺射驅動。它們還提供精密調節，作為 RF 濺射和蝕刻系統的偏壓電源。該系列電源采用緊湊型設計，是實驗室系統的首選
      

      
              
          
               
      產品應用
      
        
      Deposition
      
          
        
    
      
    
    
    
      

      

      

    


      

      
    
      
        
        
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